上海物光光电轮廓仪WGL仪器仪表 光学仪器

产品描述  
 特点：本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。
主要技术参数
表面微观不平深度测量范围
在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时：1000 一1nm 
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时：130 一1nm 
测量的重复性：δra ≤0.5nm 
物镜倍率:40x 
数值孔径:φ 65  
工作距离:0.5mm 
仪器视场  目视: φ0.25mm
摄象: 0.13×0.13mm
仪器放大倍数 目视: 500× 
摄象（计算机屏幕观察）一2500×
接收器测量列阵:1000x1000 
象素尺寸:5.2×5.2µm 
测量时间采样（扫描）时间:1s
仪器标准镜     反射率（高）: ～50 % 
反射率（低）: ～4 %
照明光源:白炽灯6v 5w
绿色干涉滤光片波长:λ≒530nm   
半宽度λ≒10nm   
主显微镜升程:110 mm 
工作台升程:5 mm 
x 、丫方向移动范围: ～10 mm 
工作台旋转运动范围:360° 
工作台顷斜范围：±6° 
计算机系统：p4 , 2 .8g 以上，内存1g以上17寸纯平显示器
 

本产品的加工定制是否，品牌是物光，型号是WGL，测量范围是1000-1nm，测量精度是8nm，长度是1000（mm），放大率是40X，视野是100（m@100m），物镜直径是200（mm），序列号是1258，重量是60（Kg）